恭喜鑫天虹(廈門)科技有限公司林俊成獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)恭喜鑫天虹(廈門)科技有限公司申請的專利基材傳送系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114597147B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202011406736.0,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/677;該發(fā)明授權(quán)基材傳送系統(tǒng)是由林俊成;張容華設(shè)計研發(fā)完成,并于2020-12-04向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本基材傳送系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本發(fā)明是一種基材傳送系統(tǒng),其具有本體、載盤裝載盒基座、載盤對準(zhǔn)裝置、載盤機械手臂、基材裝載盒基座、基材對準(zhǔn)裝置、基材機械手臂與白努力手臂。透過載盤機械手臂可將載盤傳送到載盤對準(zhǔn)裝置,透過基材機械手臂可將基材傳送到基材對準(zhǔn)裝置,而透過白努力手臂可將基材從基材對準(zhǔn)裝置傳送到載盤對準(zhǔn)裝置上的載盤。
本發(fā)明授權(quán)基材傳送系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了:1.一種基材傳送系統(tǒng),其特征在于,所述基材傳送系統(tǒng)包括:一本體,包括基材取放區(qū)與傳送區(qū);至少一載盤裝載盒基座,連接所述傳送區(qū),并用以固定載盤裝載盒;至少一載盤對準(zhǔn)裝置,位于所述傳送區(qū),并根據(jù)載盤上的第一定位區(qū)塊使所述載盤旋轉(zhuǎn)到第一特定角度;至少一載盤機械手臂,位于所述傳送區(qū),并用以將所述載盤從所述載盤裝載盒傳送到所述載盤對準(zhǔn)裝置,以及將所述載盤從所述載盤對準(zhǔn)裝置傳送到所述載盤裝載盒;至少一基材裝載盒基座,位于所述基材取放區(qū),并用以固定至少一基材裝載盒;至少一基材對準(zhǔn)裝置,位于所述傳送區(qū),并根據(jù)基材上的第二定位區(qū)塊使所述基材旋轉(zhuǎn)到預(yù)定角度;至少一基材機械手臂,位于所述傳送區(qū),并用以將所述基材從所述基材裝載盒傳送到所述基材對準(zhǔn)裝置,以及將所述基材從所述基材對準(zhǔn)裝置傳送到所述基材裝載盒;及至少一白努力手臂,位于所述傳送區(qū),并用以將所述基材從所述基材對準(zhǔn)裝置傳送到所述載盤對準(zhǔn)裝置上的所述載盤,以及將所述基材從所述載盤對準(zhǔn)裝置上的所述載盤傳送到所述基材對準(zhǔn)裝置;其中在所述白努力手臂將所述基材從所述基材對準(zhǔn)裝置傳送到所述載盤對準(zhǔn)裝置上的所述載盤后,所述載盤對準(zhǔn)裝置使所述載盤旋轉(zhuǎn)到第二特定角度;其中所述白努力手臂將第一片基材及下一片基材從所述基材對準(zhǔn)裝置傳送到所述載盤對準(zhǔn)裝置上的所述載盤,所述第一片基材與所述下一片基材被放置在相對于所述基材傳送系統(tǒng)的同一個位置。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人鑫天虹(廈門)科技有限公司,其通訊地址為:361101 福建省廈門市廈門火炬高新區(qū)(翔安)產(chǎn)業(yè)區(qū)洪溪南路9號A棟102;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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